Í dag munum við deila öðrum hagstæðum notkunarsvæðum flatar-kísilkarbíðhimna. Kísilkarbíð flatar-plötuhimnur ásamt virkjuðum seyruferlum í MBR tákna lágt-flæðisreksturssviðsmyndir (hönnunarflæði 25~60 LMH, landfyllingarskolvatn 25 LMH, skólp fyrir heimili 60 LMH). Aftur á móti hafa kísilkarbíð flatar-plötuhimnur einnig margar hagstæðar{10}}há{10}}flæðisaðgerðir (hönnunarflæði 150~1000 LMH).
Í samanburði við aðstæður með lágt-flæðisflæði eru flatar-kísilkarbíðplötuhimnur örugglega -hagkvæmari í atburðarásum með mikið-flæði.
Í dag munum við einbeita okkur að notkun kísilkarbíðs flatra-plötuhimna í há-gruggugu afrennsli í hálfleiðaraiðnaðinum.
Helstu uppsprettur há-gruggvatns í hálfleiðaraiðnaði eru:
1. Hreinsun frárennslisvatns eftir að oblátur er malaður og skorinn í teningur (þynning á bakhliðinni til að draga úr oblátþykkt; skera diska í sneiðar)
2. Hreinsun skólps eftir planarization
Planarization tæknin í hálfleiðaraiðnaðinum er kölluð CMP (Chemical Mechanical Polishing). Grunnreglan CMP (Continuous Polishing) er að snúa oblátu miðað við fægipúða í viðurvist slípiefnislausnar (eins og KOH lausn sem inniheldur kvoða SiO2 svifagnir) á meðan beitt er þrýstingi, þannig að ná fægja með vélrænni slípun og efnaætingu. Þessi tækni mun án efa stækka frá flatarvæðingu millilags rafefna (ILDs), einangrunarefna, leiðara, innbyggðra málma (W, Al, Cu, Au), pólýkísil og kísiloxíðrása í hálfleiðaraiðnaðinum til yfirborðsvinnslusviða eins og þunnra-filmugeymsludiska, MFMS, segulvélakerfi, rafeindakerfi, segulvélakerfi, rafeindatækni, slípiefni, nákvæmni lokar, sjóngler og málmefni.
Eiginleikar há-gruggu skólps frá hálfleiðaraiðnaðinum eru eftirfarandi:
1. Mikið grugg, fyrst og fremst vegna mikils styrks fíns svifryks.
2. Lítil leiðni og lágt TOC.
3. CMP afrennsli hefur oxandi eiginleika.
Frá sjónarhóli himnufótrunar er gróðurþátturinn einfaldlega hár styrkur af fínu svifryki. Líkamlegar hreinsunaraðferðir eru mjög árangursríkar til að endurnýja himnuflæði. Lítil leiðni og lágt TOC þýða litla tilhneigingu til lífrænnar gróðursetningar og flögnunar, sem leiðir til langrar efnahreinsunarlotu.
Þetta er tilvalin notkunaratburðarás fyrir himnuaðskilnaðartækni! Það er í meginatriðum sniðið fyrir notkun upphafssíunar!
Hár styrkur fíngerðra svifryks þýðir að mikill flæðihraði á yfirborði himnunnar skapar stöðuga hættu á vélrænu sliti á himnuskilalagið.
Kostir niðursíunartækni í kafi sem notar kísilkarbíð flatar plötuhimnur fyrir há-gruggugt frárennslisvatn í hálfleiðaraiðnaði:
1. Hátt flæði: himnuflæði Stærra en eða jafnt og 300 LMH, lágur fjárfestingarkostnaður;
2. Lítil orkunotkun: lítill rekstrar- og viðhaldskostnaður;
3. Hátt batahlutfall (allt að meira en eða jafnt og 95%), samanborið við 75% ~ 85% fyrir lífrænar himnur.
